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株式会社ナノフィルム テクノロジーズ ジャパン -DLCコーティングのパイオニア-

NanoFilm Technologies Japan Limited

アプリケーション

 

ガラスレンズモールド

デジタルスティルカメラや携帯電話に代表される小型端末機器においては、より高い性能が期待できる非球面レンズが必要となってきています。圧縮成型されるガラスレンズ用金型は、耐熱、耐磨耗、離型性に優れ、高価な金型の再利用化もコスト的に重要課題でした。従来のDLC膜は硬く、摩擦係数も低くこれらの要求性能を満たすコーティング膜として採用されて来ましたが、ガラス硝材の性能多様化に伴い十分な成型寿命を実現出来ないケースが発現してきました。 ガラスレンズ

図3(金型寿命の評価例)

ta-C膜はダイヤモンド結合Sp3成分が多いことでDLCに比較してより硬く摩擦係数も低く、更に反応性エッチングにより容易に金型面から剥離できることからDLC膜に置き換わって採用されています。尚、単純なta-C膜ではレンズの成型図4(精密金型用コーティングシステム)中に金型からの剥離が起こりやすく、FCVAコーティング方式の特徴であるバイアス電圧付加により多層膜を実現しこの問題をクリアしています。図3(金型寿命の評価例)は具体的な評価データであるが寿命が従来のDLC膜に比較して4倍になったケースです。図4(精密金型用コーティングシステム)は精密金型用に開発されたFCVAコーティングシステムでロードロックチャンバーとプロセスチャンバーを備え、クリーニングルーム側のオペレータ部を前面に設け背面をメンテナンス部とした構造になっています。ヘビーデューティー生産にも堪えるシステムとなっています。