テトラヘデラル アモルファス カーボン

光輝くダイヤモンドと真っ黒なグラファイト(黒鉛)は、同じ炭素原子から 作られています。しかし、炭素原子の結合の仕方が異なるため、その みかけも特性もまったく異なります。ダイヤモンドは、最も固い物質で 研磨材などの工具として使われていますが、グラファイトは、軟らかく 薄く剥がれ易く、その粉末は滑らかで潤滑材に用いられています。 ダイヤモンドは、炭素原子のsp3 結合からなる結晶構造をしています。 グラファイトは、炭素原子のsp2 結合からなる結晶構造をしています。

テトラヘデラル アモルファス カーボンの特徴

1	高い硬度
2	可変膜厚
3	小さい表面エネルギー
4	優れた密着性
5	優れた非付着性
6	低い磨耗率
7	低い摩擦係数　（高接触角）
8	簡単な剥離性（RIEプロセスにより）

●炭素原子 sp3 結合と sp2 結合 非晶質 ●ナノフィルムのFCVAテクノロジーによる ta-C 薄膜 ●sp3 結合　 40 - 85 ％ ●ta-C（テトラヘデラル アモルファス カーボン）は、sp3 結合およびsp2 結合 の非晶質構造をしています。水素は、含みません。 ●ナノフィルムのFCVAテクノロジーによる ta-C 薄膜 (テトラヘデラル アモルファス カーボン) は、sp3 結合を約40 - 85 ％含みます。

ta-CとDLCの比較