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株式会社ナノフィルム テクノロジーズ ジャパン -DLCコーティングのパイオニア-

NanoFilm Technologies Japan Limited

ta-Cフィルム

テトラヘデラル アモルファス カーボン

光輝くダイヤモンドと真っ黒なグラファイト(黒鉛)は、同じ炭素原子から 作られています。しかし、炭素原子の結合の仕方が異なるため、その みかけも特性もまったく異なります。ダイヤモンドは、最も固い物質で 研磨材などの工具として使われていますが、グラファイトは、軟らかく 薄く剥がれ易く、その粉末は滑らかで潤滑材に用いられています。 ダイヤモンドは、炭素原子のsp3 結合からなる結晶構造をしています。 グラファイトは、炭素原子のsp2 結合からなる結晶構造をしています。

ダイヤモンド炭素原子sp3結合結晶とグラファイト炭素原子sp2結合結晶

テトラヘデラル アモルファス カーボンの特徴

1 高い硬度
2 可変膜厚
3 小さい表面エネルギー
4 優れた密着性
5 優れた非付着性
6 低い磨耗率
7 低い摩擦係数 (高接触角)
8 簡単な剥離性(RIEプロセスにより)
   

炭素原子 sp3 結合と sp2 結合 非晶質

ナノフィルムのFCVAテクノロジーによる ta-C 薄膜

sp3 結合  40 - 85 %

ta-C(テトラヘデラル アモルファス カーボン)は、sp3 結合およびsp2 結合 の非晶質構造をしています。水素は、含みません。

ナノフィルムのFCVAテクノロジーによる ta-C 薄膜 (テトラヘデラル アモルファス カーボン) は、sp3 結合を約40 - 85 %含みます。

ta-CとDLCの比較

ta-CとDLCの比較