テトラヘデラル アモルファス カーボン
光輝くダイヤモンドと真っ黒なグラファイト(黒鉛)は、同じ炭素原子から 作られています。しかし、炭素原子の結合の仕方が異なるため、その みかけも特性もまったく異なります。ダイヤモンドは、最も固い物質で 研磨材などの工具として使われていますが、グラファイトは、軟らかく 薄く剥がれ易く、その粉末は滑らかで潤滑材に用いられています。 ダイヤモンドは、炭素原子のsp3 結合からなる結晶構造をしています。 グラファイトは、炭素原子のsp2 結合からなる結晶構造をしています。
テトラヘデラル アモルファス カーボンの特徴
1 | 高い硬度 |
2 | 可変膜厚 |
3 | 小さい表面エネルギー |
4 | 優れた密着性 |
5 | 優れた非付着性 |
6 | 低い磨耗率 |
7 | 低い摩擦係数 (高接触角) |
8 | 簡単な剥離性(RIEプロセスにより) |
●炭素原子 sp3 結合と sp2 結合 非晶質 ●ナノフィルムのFCVAテクノロジーによる ta-C 薄膜 ●sp3 結合 40 - 85 % ●ta-C(テトラヘデラル アモルファス カーボン)は、sp3 結合およびsp2 結合 の非晶質構造をしています。水素は、含みません。 ●ナノフィルムのFCVAテクノロジーによる ta-C 薄膜 (テトラヘデラル アモルファス カーボン) は、sp3 結合を約40 - 85 %含みます。 |
ta-CとDLCの比較