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FCVA成膜技術

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NTIの創業者でありシンガポール・ナンヤン工科大学のShi Xu博士が開発したFCVA(Filtered Cathodic Vacuum Arc)成膜技術は、アークプラズマ源を用いたイオンビーム蒸着法です。真空中でターゲット上にアーク放電を起こさせると、高エネルギーのイオンのプラズマが発生しますが、FCVA はこのプラズマを磁界で集束し、誘導加速して基板上に衝突させ、膜を形成する方法です。

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TAC

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水素フリーDLCコーティングであるta-C(tetrahedral amorphous- Carbon)は、sp3 比が非常に高く、水素を基本的に含まないため、緻密で密度が非常に高く、ダイヤモンドに近い高硬度で絶縁性を持つ膜となります。中でも、独自のFCVA成膜技術により成膜したta-C膜であるTACは、以下の特徴を有しています。

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iTAC

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厚膜水素フリーDLC(ta-C)コーティングのiTAC®は、先進ta-CコーティングTAC-ON®から派生した、膜厚5μm以上の厚膜でコーティングされる先進コーティングです。iTAC®先進コーティングは、自動車用ピストンリングなどの表面ソリューションとして活用されており、ピストンリングの寿命を一般的なダイヤモンドライクカーボン(DLC)コーティングに比べ5倍以上に延長できます。

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STAR TAC

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STAR-TAC®は当社のta-Cコーティングシリーズの新ラインナップで、コーティング膜の摺動特性や耐食性を向上させるべく開発されたものです。STAR-TAC®はFCVA成膜技術による高密度で平滑なta-Cトップコーティングにより極めて優れた潤滑なじみ性を発現するとともに、硬質で高靭性のCrWC(クロム-タングステンカーバイド)の中間膜によってコーティングの密着性と耐食性を高めています。

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MiCC

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MiCC®は、FCVA成膜技術により成膜するナノ結晶窒化クロム(CrN)セラミックスコーティング。高硬度で低い摩擦係数、高い耐食性、低い表面エネルギーなどの特徴を有し、通常、半導体封止パッケージ金型成形や樹脂射出成形用金型、ゴム成形金型、CD/DVD成形用金型などに適用されます。MiCC®コーティングは工具の寿命を延長するほか、金型の離型力を減らすことで、生産コストを減らし生産性を改善します。

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その他金属

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各種ニーズに応えるFCVA成膜技術によるカスタマイズ・ソリューション

  • 導電性真空コーティング:プレミアム家電のEMI対策に有効
  • 樹脂・ゴムへの成膜>
  • 可視光および赤外線領域の光学特性を付与するコーティング:防眩や反射防止、その他の近赤外および遠赤外領域での様々なアプリケーションに対応

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