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装置販売

成膜アプリケーションに応じて、バッチ式FCVA装置、ロードロック式FCVA装置、インライン型装置を提供しております。

 

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コーティング受託加工

様々な業界向けに、FCVA技術による耐摩耗性・低摩擦性・離型性などに優れた均質で平滑なta-C膜の受託コーティングサービスを行っております。日本国内においても、2022年度より、受託成膜サービスを展開いたします。

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