FCVA コーティング装置販売事業
![Coating Equipment](/sites/default/files/2022-03/01ph1_0.png)
成膜アプリケーションに応じて、バッチ式FCVA装置、ロードロック式FCVA装置、インライン型装置を提供しております。
バッチ式FCVA装置
バッチ式装置は、1基の真空成膜チャンバーから構成され、安定性とコスト優位性があり、多目的に利用できるほか、アプリケーションの変化に合わせて柔軟に利用でします。
![バッチ式FCVA装置](/sites/default/files/2022-03/01ph2_0.jpg)
ロードロック式 FCVA 装置
![ロードロック式 FCVA 装置](/sites/default/files/2022-03/01ph3.jpg)
ロードロック式 FCVA 装置は、2基以上のチャンバーから構成されています。1基は真空状態が保持された真空成膜チャンバーで、それとは別にローディングチャンバーを備えています。ローディングチャンバーはワークを大気に晒すことなく真空成膜チャンバーへと搬送するため、膜質の安定性を向上し、パーティクルの付着を抑制します。
インライン式 FCVA 装置
量産向けのインライン式 FCVA 装置を設計・開発・制作しております。インライン式 FCVA 装置は高い生産性および安定した成膜品質を実現します。チャンバー数を任意に選定可能です。
![インライン式 FCVA 装置](/sites/default/files/2022-03/01ph4_0.jpg)