ロードロック式 FCVA 装置

ロードロック式 FCVA 装置は、２基以上のチャンバーから構成されています。１基は真空状態が保持された真空成膜チャンバーで、それとは別にローディングチャンバーを備えています。ローディングチャンバーはワークを大気に晒すことなく真空成膜チャンバーへと搬送するため、膜質の安定性を向上し、パーティクルの付着を抑制します。