静電気放電膜（Electrostatic Discharge Coating）
NTIの静電気放電膜（Electrostatic Discharge Coating）は、 静電気の急速な変化を低減する目的や、 電子アセンブリ・電子部品など静電気の影響を受けやすいアイテムを保護する目的で、採用されています。
仕様
• 静電気拡散性 (Static Dissipative) 材料は、電荷がゆっくりとアースに流れることが理想的
• 高い抵抗率が要求される（導電性が低い）
表面抵抗:105～109Ω/□
理想的には、106～108Ω/□
表面抵抗105~109 Ω/□
硬度3000 Hv
膜厚30nm ~ 4000nm
成膜温度80℃
応用例
ウェハ接触部品 前工程・後工程
- Wafer stages - Docking components - Wafer carrier (Wafer Level Packaging)
- E-chucks - Grippers - Conversion kit (Test Assembly)
- Wafer handler - Focus rings - Hot plate, Insert, Plunger
- Chamber liners - Pedestal
- Pump components - Socket