NTIでは、水素フリーDLC(ta-C)膜だけでなくダイヤモンド膜もきれいに除膜できる除膜装置「NDC 300」の提供を開始しました。
新しい除膜装置NDC 300はNTI独自のイオンソース技術を利用し、反応性イオンエッチング(RIE)とArイオンを用いた物理的エッチングの二重の除去手法によって、再コーティングに適したきれいな除膜を効率よく実施、高い生産性(大きな除膜領域:直径12 インチ)を実現します。
非球面レンズ金型など曲率の大きい金型でも、問題なく除膜できることが確認されています。除膜膜厚は~20μmと厚膜にも対応していて、プロセス時間は35~120分(金型の寸法、形状、膜厚に依存)程度で済みます。